编者按:本文来自微信公众号“新智元”(ID:AI_era),作者 新智元,36氪经授权发布。
中国半导体行业受到美国的持续施压。但最近,全球最大半导体设备制造商荷兰ASML的首席财务官在公布第三季度财报时表示,「一些情况下,出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可。但涉及到直接从美国向客户发送货物或零件,则还需申请许可证。」
没有顶尖的光刻机,是我国半导体行业发展的最大瓶颈。
在这个领域称得上龙头的,荷兰的阿斯麦尔(ASML)首屈一指。
10月14日,ASML的首席财务官Roger Dassen就向中国出口光刻机的问题发表了口头声明。他说,与中芯国际等中国客户的业务往来,表示一些情况下,出口DUV(深紫外)光刻机,无需美国许可。
在受美国频频阻碍的情形下,这样的消息实在是鼓舞人心。
光刻机不仅可以用来制造芯片,还能用来制造半导体材料,测试新技术等。
可以说,如果拥有了最顶尖的光刻机,那么半导体领域中的绝大多数问题就能迎刃而解。
但Dassen也补充说,如果相关系统或部件是从美国出口的,那些设备仍然需要得到美方的许可。
尽管消息并不完美,但足以令国内半导体行业感到兴奋。在美国「卡脖子」的情况下,中国芯片有救了吗?
根据Roger Dassen的说法,「如果广泛地来理解美国规章制度对 ASML 的总体含义(对于特定的中国客户),则意味着原则上 ASML 将能够从荷兰向这些中国客户提供 DUV 光刻系统,且无需出口许可证。」
虽然Dassen没有明确解释可以出口的原因,但他表示,「我们已经注意到美国的禁令,也意识到禁令对中国客户的影响。但ASML将继续努力,为所有客户提供尽可能多的服务和支持。」
今年5月,ASML与无锡高新区签署战略合作协议,将在无锡高新区扩建和升级阿斯麦光刻设备技术服务(无锡)基地。
在此之前,ASML已经在北京、上海、深圳、无锡等地开设了分支机构,为客户提供服务和咨询。其中,深圳是其在亚洲最大的软件研发中心。
这不是ASML第一次「示好」了。
向中国市场出口对ASML意味着什么?
在Darson接受视频采访的当天,ASML也发布了2020年第三季度的财报:ASML光刻机在2020年第三季度的净销售额达到31亿欧元,其中中国大陆市场占21%。
而值得一提的是,在净利润中,EUV光刻机占了非常高的收入比例,贡献了66%的光刻机总销售。
ASML首席执行官Peter Wennink也证实了这一点。他表示,根据美国现行法规,从荷兰直接出口到中国的DUV光刻机不会受到影响。
似乎,光刻机这个源头问题得到了解决,但事情远没这么简单。
然而,两位高管都强调了DUV光刻机的出口,却没有提及更先进的EUV(极端紫外线)光刻机。
有网友对此消息表示:「DUV光刻机是二等品,自然不用受限。」
前不久,中芯国际曾向ASML购买了一台EUV光刻机,但却因为美国资本的阻挠,至今未收到货。
DUV光刻机与EUV光刻机什么区别?
中低端与高端的区别。
EUV光刻机则是实现7nm的关键设备,如果中国大陆无法引入ASML的EUV光刻机,则意味着大陆将止步于7nm工艺。
目前中芯国际订购了一台EUV。价格贵,但不是只买一台的唯一原因,而是买多了,现在真用不上。
有微电子博士解析,就这一台,还是着眼于两三代技术节点之后的产品研发(14nm ->10nm -> 7nm -> 5nm)。必须要用EUV的,是5nm以及以下,直到7nm,DUV都够用。
「三星,英特尔和台积电疯抢EUV,是因为他们目前就要用。三星和台积电都已经开始攻坚3nm了。而中芯国际,在logic device领域,确实还是第二梯队的,下一代和下下代研发,都不是非EUV不可,DUV完全够用。需要多沉下心来多琢磨光刻工艺。」
而更为重要的是,ASML是全球唯一一家能够量产EUV光刻机的厂商。
贵,而且稀有。
EUV光刻机的价格约为1.48亿欧元,折合人民币大概11.65亿元左右。而且ASML的EUV光刻机也产量很低,供不应求,必然会优先考虑自己的大客户,如台积电等。
荷兰ASML公司,其占据了全球大部分的EUV光刻机市场,基本上实现了EUV光刻机的垄断。
但既然是荷兰企业,怎么还受到美国的控制呢?
能控制荷兰ASML出口,这背后的大股东究竟是谁?
早在1980年代前,ASML飞利浦旗下的一家小公司。后来,ASML借助台积电推出第一台浸润式微影机,从此成为光刻机全球市场的王者。
为了保持市场地位,拥有足够的资金,荷兰ASML公司想出了「利益捆绑」的合作模式向三个大客户积电、三星和英特尔优先发货。
如此高的待遇,引来了这三家大公司分别向荷兰ASML入股。
但是,随着ASML的不断发展,这三家大客户所持有的股份却逐渐减少。时至今日,因为美国华尔街资本的买入,这三家公司手中的股份已经所剩无几了。
所以截至目前,在荷兰ASML公司,美国资本国际集团是目前其最大的股东持有者,而其第二大股东也来自美国,叫做贝莱德集团。
如今的ASML绕不开美国,据说ASML在美国的研发中心,甚至比荷兰总部还要大,此外就更别提技术的重要性了。
所以,虽然荷兰ASML「垄断」着全球光刻机市场,但核心资本仍握在美国手里。
所以,虽然消息是好消息,但现实情况可能是,DUV可解燃眉之急,但自研之路仍要走!
参考链接:
https://www.iamnotresponsible.com/2020/10/15/asml-no-u-s-license-is-required-to-export-duv-lithography-machine-from-the-netherlands-to-china/
https://www.yqqlm.com/2020/10/the-top-lithography-machine-sells-for-nearly-1-2-billion-yuan-what-chinese-companies-can-buy-at-will-is-another/
https://www.fool.com/earnings/call-transcripts/2020/10/14/asml-holding-nv-asml-q3-2020-earnings-call-transcr/
http://www.caixin.com/2020-10-15/101614949.html
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网址: 全球最大制造商ASML回应,卖给中国DUV光刻机无需美国许可 http://m.xishuta.com/newsview32562.html